Open access

Особливості проведення досліджень мікрогеометрії та поверхневих властивостей діелектричних матеріалів для мікро- і наноелектроніки

10.03.2018

Авторів:

С. Ф. Петренко , О. Г. Новаковський , Віктор Степанович Антонюк , Юлія Юріївна Бондаренко

DOI: https://doi.org/10.24025/2306-4412.1.2018.153265

Open access

Методика виявлення мікродефектів і дефектного шару в поверхні пластин з оптичного скла з використанням електронно-променевого методу обробки

Авторів:

Георгій Канашевич , Микола Васильович Голуб , Сергій Михайлович Мацепа , Віктор Степанович Антонюк

Open access

Застосування п'єзоелектричних актуаторів у мікроманіпуляторах

Авторів:

О. Г. Новаковський , Віктор Степанович Антонюк , С. Ф. Петренко