Журнал: Том 22, № 2, 2017
Сторінки: 105 – 109
476 Переглядів

Методика виявлення мікродефектів і дефектного шару в поверхні пластин з оптичного скла з використанням електронно-променевого методу обробки

Георгій Канашевич, Микола Васильович Голуб, Сергій Михайлович Мацепа, Віктор Степанович Антонюк

Анотація

Методика дозволяє виявити мікродефекти та дефектний шар на пластинах з оптичного скла К8, СТК3, БК10, ТК21, що отримані в умовах оптичного виробництва, і у подальшому поверхня яких має використовуватися для виготовлення одиночних мікролінз, мікролінзових растрів, елементів інтегральної оптики, одиночних та системи мікродзеркал з використанням технології мікроелектроніки. За розробленою методикою мікродефекти та дефектний шар в поверхні пластини виявляються шляхом дії на неї електронного потоку, подальшого травлення у суміші HF + гліцерин та застосування оптичної, електронної і атомно-силової мікроскопії. Дія електронного потоку забезпечує дисоціацію продуктів полірування, які заповнюють дефектний шар пластини, і підвищує їх розчинність у сумішах HF та гліцерину

Ключові слова

оптичне скло, пластини з оптичного скла, мікролінзові растри, елементи інтегральної оптики, мікродефекти, дефектний шар, електронно-променева обробка, електронна мікроскопія, атомно-силова мікроскопія

Використані джерела

  1. Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers (SPIE). (2014). Proceedings of SPIE. Bellingham, WA, USA: SPIE Press. ISBN 1628412925.
  2. Greenwood,J., & Dobre,G. (2000). An optical pressure sensor for an aeronautical application using white-light interferometry. Proceedings of SPIE, 4075, 94–100. https://doi.org/10.1117/12.40582 5
  3. Optomechatronic systems. (2001). Proceedings of SPIE, 4190. Bellingham, WA: SPIE Press. https://doi.org/10.1117/12.417994
  4. Doyle,K.B., Genberg,V.L., & Michels,G.J. (2002). Integrated optomechanical analysis. Bellingham, WA: SPIE Press. ISBN 0819446092.
  5. Paltiyel,L.R. (1990). Structure and adsorption properties of the surface of silicon-containing optical materials and their modifying coatings (Author’s abstract of Candidate of Chemical Sciences dissertation). Leningrad.
  6. Dubrovskaya,G.N., Dikaya,S.V., Zhuchenko,M.I., Kanashevich,G.V., & Lisochenko,V.N. (1990). Solution for cleaning products mainly from optical glass (Author’s Certificate No. 1644458, USSR, IPC C03C 23/00). Filed June 19, 1989; published December 22, 1990, Bulletin No. 33.
  7. Dubrovska,G.M., Kanashevych,G.V., & Bondarenko,M.O. (2004). Method for detecting the defective near-surface layer of optical glass (Patent No. 67516A, Ukraine, IPC C03C 15/00). Filed October 9, 2003; published June 15, 2004, Bulletin No. 6.
  8. Kanashevych,G.V. (2013). Thermoelectric influence of a low-energy electron beam on the defective layer of optical glass. Visnyk NTUU “KPI”. Series: Instrumentation, 45, 123–130.
  9. MEMS: Micro-electro-mechanical systems (Parts 1–3). (n.d.). Retrieved from https://www.3dnews.ru/editorial/mems-mikroelektromehanicheskie-sistemi-chast-1,2,3

ЦИТУВАТИ

Kanashevych, G., Holub, M., Matsepa, S., & Antoniuk, V. (2017). The method for detection of micro-defects and defective layer in the surface of optical glass plates using electron beam processing method. Bulletin of Cherkasy State Technological University, 22(2), 105-109.