Журнал: Том 23, № 1, 2018
Сторінки: 5 – 13
DOI: https://doi.org/10.24025/2306-4412.1.2018.153265
850 Переглядів

Особливості проведення досліджень мікрогеометрії та поверхневих властивостей діелектричних матеріалів для мікро- і наноелектроніки

С. Ф. Петренко, О. Г. Новаковський, Віктор Степанович Антонюк, Юлія Юріївна Бондаренко
Отримано 19.11.2017
Доопрацьовано 04.02.2018
Прийнято 10.03.2018

Анотація

У статті коротко розглянуті особливості проведення дослідження мікрогеометрії і поверхневих властивостей діелектричних матеріалів для мікро- і наноелектроніки із застосуванням методу АСМ. Показано переваги та обмеження застосування цього методу для дослідження поверхні і поверхневих властивостей діелектриків

Ключові слова

мікрогеометрія; діелектрик; мікроелектроніка; наноелектроніка; атомно-силова мікроскопія

Використані джерела

Використані джерела в процесі публікації

ЦИТУВАТИ

Petrenko, S., Novakovskii, O., Antoniuk, V., & Bondarenko, Yu. (2018). Features of microgeometry response and surface properties of dielectric materials for micro- and nanoelectronics . Bulletin of Cherkasy State Technological University, 23(1), 5-13. https://doi.org/10.24025/2306-4412.1.2018.153265