Автор

Юрій Коваленко

Черкаський державний технологічний університет

18006, бульв. Шевченка, 460, м. Черкаси, Україна

http://orcid.org/0000-0002-7670-0375

Статей 1
Переглядів профілю 527

Усі статті

  • open access Open access

    Покращення якості оптичних поверхонь елементної бази інформаційних систем методом електронно-променевої мікрообробки

    Автори:
    Сергій Михайлович Мацепа, Георгій Канашевич, Юрій Коваленко, Роман Цинда, Ігор Жайворонок
    DOI: https://doi.org/10.24025/2306-4412.4.2021.244832