Покращення якості оптичних поверхонь елементної бази інформаційних систем методом електронно-променевої мікрообробки
Анотація
В роботі наведено результати електронно-променевої мікрообробки оптичних поверхонь елементної бази інформаційних систем, що доводять покращення їх якісних характеристик (зменшення мікрошорсткості та мікронапруження у поверхневому шарі матеріалу, структурної та хімічної стабілізації у дефектному і тріщиноподібному шарах, керована зміна адгезійними властивостями поверхні матеріалу тощо). Розглянуто структурні та хімічні перетворення, які виникають на поверхні та у приповерхневому шарі оптичного матеріалу внаслідок такої мікрообробки. Встановлено технологічні режими електронно-променевої мікрообробки оптичного скла, при яких відбувається якісне покращення поверхонь оптичних елементів, що приводить до підвищення експлуатаційних показників та показників надійності цих елементів. Показано перспективу використання методу електронно-променевої мікрообробки оптичних елементів при виготовленні, удосконаленні та оновленні елементної бази сучасних інформаційних систем
Ключові слова
інформаційна система; оптичне скло; оптична поверхня; оптичний мікроелемент; електронно-променева мікрообробка
Використані джерела
[1] E. Oswaldo, D&M. G. Perez, and J. E. Lascano, "Literature review about intention mining in information systems", Journal of Computer Information Systems, vol. 61 (4), pp. 295-304, 2021. doi: org/10.1080/08874417.2019.1633569.
[2] G. W. Reynolds, and R. M. Stair, Principles of Information Systems. A Managerial Approach. 9th ed. Florida, USA: Florida State University, 2010.
[3] B. Elliott, "Front matter", in Optical Communication. New York, USA: AIP Publishing Melville, 2021, Fm1, pp. i-x. doi: org/10.1063/9780735423077frontmatter.
[4] L. I. Muravskyi, Ya. V. Bobytskyi, and H. I. Haskevych, Optical information systems. Lviv, Ukraine: SPOLOM, 2011 [in Ukrainian].
[5] J. Hildebrand, K. Hecht, J. Bliedtner, and H. Müller, "Advanced analysis of laser beam polishing of quartz glass surfaces", Physics Procedia, vol. 39, pp. 277-285, 2012. doi: org/10.1016/j.phpro.2012.10.039.
[6] E. A. B. Saleh, and M. C. Teich, Fundamentals of Photonics, 2nd ed. Chicester, UK: Wiley, 2013. Print.
[7] M. P. Bochok, N. P. Budko, V. A. Vashchenko, G. V. Kanashevich, and D. I. Kotel'nikov, Special methods of optical glass processing. Chernihiv, Ukraine: ChDTU, 215, 2001 [in Ukrainian].
[8] G. V. Dudko, S. K. Kulov, Yu. A. Roze, and N. G. Maksimova, "Study of electronbeam processes in the creation of basic technologies for EBEFP", Elektronnaya promyshlennost', no. 1, pp. 41-45, 1991 [in Russian].
[9] G. V. Dudko, and V. N. Lisochenko, "The problem of forming extra-clean and defectfree surfaces", in Materials of the short-term seminar. Leningrad, 1985, pp. 13-16 [in Russian].
[10] H. M. Dubrovska, H. V. Kanashevych, and M. O. Bondarenko, "Structural transformations in the surface layer of optical glass and photoplates from the action of lowenergy electron flow", in Proc. sci.-tech. conf. New and non-traditional technologies in resource and energy saving. Odessa, June 2-4, 2004, pp. 60-64 [in Ukrainian].
[11] G. V. Kanashevich, "Micro-treatment of surfaces of plates made of optical glass with a low-power electronic stream of a band form" in 7th World Congress on Recovery, Recycling and Reintegration & China International 3R Exhibition. Beijing, China, 25-29 Sept. 2005, 7.
[12] H. V. Kanashevych, V. A. Vashchenko, and M. O. Bondarenko, "Prospects for the use of electron beam in integrated optics technologies". Visnyk Cherkaskogo derzhavnogo tekhnolohichnogo universytetu, no. 2, pp. 189-193, 2000 [in Ukrainian].
[13] V. A. Vashchenko, O. V. Kirichenko, and D. I. Kotel'nikov, Elektronnaya obrabotka materialov, vol. 44, no. 6, 2004 [in Russian].
[14] I. V. Yatsenko, V. P. Maslov, V. S. Antonyuk, V. A. Vashchenko, O. V. Kirichenko, and K. M. Yatsenko, "Electronic beam technology in optoelectronic instrumentation: high-quality curved surfaces and microprofile creation in different geometric shapes". Journal of Nano- and Electronic Physics. vol. 13 (4), 04034 (5 р.), 2021.
[15] G. V. Kanashevich, "Technological bases of quality control of the surface layer of optical materials in electron beam micromachining", D.S. thesis: 05.03.07, Cherkasy State Tech. Univ., Cherkasy, Ukraine, 2009, p. 336 [in Ukrainian].
[16] M. P. Rud, H. V. Kanashevych, V. P. Boiko, and Yu. I. Kovalenko, "Introduction of a computerized control system in the process of electronic processing of optical materials", on 7th Annual Int. Industrial Conf. The effectiveness of the implementation of scientific, resource and industrial potential in modern conditions, Slavskoye-Kiev, Febr. 12-16, 2007, p. 460 [in Ukrainian].
[17] M. P. Rud, M. O. Bondarenko, Yu. I. Kovalenko, and I. V. Iatsenko, "Research and formation of tape electron flow for microtreatment of material surfaces", Novi materialy i tekhnolohii v metalurhii ta mashynobuduvanni, no. 2, pp. 58-63, 2012 [in Ukrainian].
[18] V. A. Vashchenko, I. V. Yazenko, Yu. I. Kovalenko et al., "Effect of electron-beam treatment of sensor glass substrates for SPR devices on their metrological characteristics", Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics, vol. 22 (4), pp. 444-451, 2019. doi: org/10.15407/ spqeo22.04.444.
[19] ISO 10110-1:2019. Optics and photonics – Preparation of drawings for optical elements and systems, Parts 1-17, 2019.
[20] H. V. Kanashevych, "Physical phenomena and mechanisms by which the surface and surface layer of optical material changes from the action of electron flow", Zbirnyk naukovykh prats Kharkivskoho universytetu Povitrianykh Syl, no. 1, pp. 184–189, 2014 [in Ukrainian].
[21] M. V. Holub, S. M. Matsepa, H. V. Kanashevych, O. S. Aleksieieva, Ye. V. Khyzhniak, and P. P. Dmytrenko, "Metallization of technical glass using electron-beam method of surface microprocessing", Visnyk Cherkaskogo derzhavnogo tekhnolohichnogo universytetu, no. 2, pp. 34-38, 2018 [in Ukrainian].
[22] Yu. Kovalenko, V. Antonyuk, and Ih. Zhaivoronok, "Investigation of the influence of basic technical parameters of ribbon electron flow on the microrelief of the optical glass surface", Machines.Technologies. Materials: Int. J. for Science, Technics and Innovations for the Industry, no. 3, pp. 106-109, 2020.
[23] H. V. Kanashevych, "Thermoelectric effect of low-energy electron flow on a defective layer of optical glass", Visnyk NTUU "KPI". Seriia: "Pryladobuduvannia", vol. 45, pp. 123-130, 2013 [in Ukrainian].