Open access

Вплив основних робочих параметрів стрічкового потоку електронів на якість отримуваного мікрорельєфу поверхні оптичного скла

17.10.2022

Авторів:

Ігор Жайворонок , Олександр Коваленко

DOI: https://doi.org/10.24025/2306-4412.3.2022.266662

Open access

Покращення якості оптичних поверхонь елементної бази інформаційних систем методом електронно-променевої мікрообробки

20.12.2021

Авторів:

Сергій Михайлович Мацепа , Георгій Канашевич , Юрій Коваленко , Роман Цинда , Ігор Жайворонок

DOI: https://doi.org/10.24025/2306-4412.4.2021.244832