Журнал: Том 22, № 4, 2017
Сторінки: 99 – 104
446 Переглядів

Технічні, технологічні умови та техніко-економічні критерії електронно-променевої мікрообробки оптичних виробів малих розмірів

Микола Васильович Голуб, Сергій Брик, Вадим Гарасюта, Володимир Савченко, Олег Сандига

Анотація

В статті представлено технічні, технологічні умови та техніко економічні критерії електронно-променевої мікрообробки оптичних виробів малих розмірів (до 1·10-3 м). Лінійні розміри та температурні режими роботи катоду дозволяють визначати вимоги до джерел енергії, електронно-променевої гармати, систем попереднього нагріву і охолодження виробів, систем керування потужністю електронного потоку, а значить і оптимізувати режими електронно-променевої мікрообробки виробів малих розмірів. Джерело нагріву повинно бути рухомим і забезпечувати локальний нагрів поверхні оптичного матеріалу з точністю 0.5%, а параметри, що регулюються, повинні змінюватися у межах 2...4 порядків

Ключові слова

електронний потік; електронно-променева обробка (мікрообробка); оптичне скло; поверхневий шар скла; мікрооптика; інтегральна оптика; МОМS; MОEM

Використані джерела

  1. https://hi-tech.ua/mirovoy-ryinoksmartfonov-vyiros-pri-etom-dolya-samsungi-apple-snizilas/ 
  2. https://deps.ua/novosti/item/optychnirazvetviteli-v-setjah-dostupa.html
  3. https://itc.ua/articles/kremnievaya_fotonika_ kak_alternativa_mednym_vnutrennim_soedi neniyam_25541/
  4. Kanashevich, Н.V. (2014) Physical phenomena and mechanisms on which the surface and surface layer of the optical material change from the action of the electronic stream. Collection of scientific works of the Kharkiv University of Air Forces. № 1. P. 184-189.
  5. Kanashevych, Н.V. (2013) The thermoelectric effect of low-energy electron beam to the defective layer optical glass. Vestnik NTUU "KPI" series Instrument  Series. Vol. 45. P. 123-130.
  6. Optics and optical instruments DSTU ISO 10110-1: 2004 - DSTU ISO 10110-14: 2004 [Effective from 25-10-01]. K.: Derzhspozhyvstandart of Ukraine, 2006. IV, 231 p. (National Standard of Ukraine)
  7. Greenwod, J., Dobre, G. (2000) An optical pressures ensor for an aeronautical application using white light interferometry. Proc. SPIE. Vol. 4075. P. 94-100.
  8. Optomechatronic   systems. Proc.SPIE. 2001. Vol. 4190. 350 p.
  9. Kanashievich, Н.V. (2002) Thermal electron-beam processing of glass fiber optic integrated circuits. Monograph. Ukr Dep. in the Research Institute of TEKHIM, Cherkasy. 165 p.
  10. Kanashevich, Н.V. (2013) Technological conditions and indicators of the efficiency of special electron beam treatment of optical glass surface. Processes of mechanical processing in mechanical engineering: Sb. sciences works. Zhytomyr: ZHDTU. Ed. 14, Р. 62-74.
  11. Kanashevich, G.V, Shcherba, A.I, Drobot I.V. (2012) Algorithm for controlling the quality of the surface layer of optical materials under electron-beam microprocessing. Bulletin of the National Technical University "Kharkiv Polytechnic Institute" Thematic issue "Mathematical modeling in technology and technologies". Vol. 27. P. 231-239.
  12. Shepelev, A.G., Yurchenko, L.D., Radkoksa, A.P. (2003) Analysis of Information Flows on Functional Coatings on Glasses. Collection of reports of the International Scientific and Practical Symposium "Functional coatings on glasses". Kharkov: NSC KhPTI, "Constant". Р. 8-10.
  13. Grigorovich, I.M., Mrochev, J.A., Figurin, B.L., Selifanov, S.O., Selifanov, V.I., Rulinsky, V.I,Reshenchuk, V.V. Installation of vacuum-plasma metallization and soldering of ceramic insulators "Sapphire-10". Electronic processing of materials. 1991. № 1.

ЦИТУВАТИ

Holub, M., Bryk, S., Harasiuta, V. , Savchenko, V., & Sandyha, О. (2017). Technical, technological conditions and techno-economic criteria of electron-beam microprocessing of optical products of small sizes. Bulletin of Cherkasy State Technological University, 22(4), 99-104.