Стаття
Металізація технічного скла з використанням електронно-променевого методу мікрообробки поверхні
Отримано 19.02.2018, Доопрацьовано 04.05.2018, Прийнято 12.06.2018
Анотація
Представлені дані з електронно-променевої обробки для покращення адгезійної міцності металевих плівок. В основі лежить спрямована зміна фізико-хімічних властивостей приповерхневого шару скла шляхом обробки стрічковим електронним потоком з енергією електронів Е≤ 8 кеВ. Результати можуть бути використані в прецизійних технологіях мікрооптики та інтегральної оптики
Ключові слова:
електронний потік; електронно-променева обробка; електроннопроменева мікрообробка; приповерхневий шар скла; силікатне скло
- 1 064 Перегляди
- Читати статтю
Використані джерела
Використані джерела в процесі публікації