Журнал: Том 23, № 2, 2018
Сторінки: 34 – 38
DOI: https://doi.org/10.24025/2306-4412.2.2018.161938
973 Перегляди

Металізація технічного скла з використанням електронно-променевого методу мікрообробки поверхні

Микола Васильович Голуб, Сергій Михайлович Мацепа, Георгій Канашевич, О. С. Алексєєва, Є. В. Хижняк, П. П. Дмитренко
Отримано 19.02.2018
Доопрацьовано 04.05.2018
Прийнято 12.06.2018

Анотація

Представлені дані з електронно-променевої обробки для покращення адгезійної міцності металевих плівок. В основі лежить спрямована зміна фізико-хімічних властивостей приповерхневого шару скла шляхом обробки  стрічковим електронним потоком з енергією електронів Е≤ 8 кеВ. Результати можуть бути використані в прецизійних технологіях мікрооптики та інтегральної оптики

Ключові слова

електронний потік; електронно-променева обробка; електроннопроменева мікрообробка; приповерхневий шар скла; силікатне скло

Використані джерела

Використані джерела в процесі публікації

ЦИТУВАТИ

Holub, M., Matsepa, S., Kanashevych, G., Alekseeva, O., Khyzhniak, I., & Dmitrenko, P. (2018). Metalization of a technical glass with using the electron beam method of a surface microprocessing . Bulletin of Cherkasy State Technological University, 23(2), 34-38. https://doi.org/10.24025/2306-4412.2.2018.161938